Zehn Jahre Team Nanotec GmbH

Weltrekord in Nanotechnologie / Feinste Fühler für die
Halbleiterindustrie machen Mikrochip-Strukturen sichtbar Villingen-Schwenningen, April 2008.
Mit einem frischen Weltrekord in der Nanotechnologie feiert die Team Nanotec GmbH in diesen Tagen ihr zehnjähriges Bestehen. Das Unternehmen war 1998 als Ausgründung aus dem IBM-Entwicklungslabor in Böblingen entstanden und hatte sich als Mieter im Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickard-Gesellschaft (HSG-IMIT) in Villingen-Schwenningen angesiedelt. Team Nanotec beschäftigt elf Mitarbeiterinnen und Mitarbeiter und gilt weltweit als ein Pionier in der kommerziellen Anwendung der Silizium-Nanotechnologie.

Das Unternehmen fertigt Nadeln und Masken aus Silizium. Deren Spitzen bzw. Öffnungen sind nur wenige Nanometer groß. Die Nadeln werden als Abtastsensoren in Rasterkraftmikroskopen eingesetzt. Mit den feinen Fühlern kann die Halbleiterindustrie die Strukturen von Mikrochip-Oberflächen dreidimensional sichtbar machen und so deren Qualität prüfen. Im März gelang es, die bisher kleinste industriell einsetzbare Abtastspitze in Zylinderform herzustellen. Ihr Durchmesser: 15 Nanometer. „Das ist 3000 mal dünner als ein menschliches Haar und ein neuer Weltrekord in der Nanotechnologie“, sagt Team Nanotec-Geschäftsführer Dr. Johann Greschner. Nur etwa 45 Atome haben in den 15 Nanometern Platz. Die Prototypen sorgten für Aufsehen in der Fachwelt. Erste Bestellungen liegen vor.

Da die Nanospitzen beim Abtasten der Mikrochip-Strukturen verschleißen, müssen sie regelmäßig ersetzt werden. Nur eine Hand voll Lieferanten weltweit kann den Nachschub bereitstellen – darunter Team Nanotec. Die Nachfrage steigt, da nicht nur die Halbleiterindustrie immer mehr Rasterkraftmikroskope einsetzt, um kleinste Strukturen zu analysieren. Mehrere tausend Spitzen pro Jahr entstehen bei Team Nanotec.

Team Nanotec unterstützt die Halbleiterindustrie auch bei der Entwicklung neuer Chip-Herstellungsverfahren. In Villingen-Schwenningen entwickelt man die Masken, die zum Belichten der Wafer und zur Herstellung der Mikrochip-Strukturen im Silizium dienen. „Die Halbleiterindustrie ist für uns eine treibende Kraft. Sie fordert ständig kleinere Strukturen, um noch leistungsfähigere Mikrochips bauen zu können. Der Zyklus der Entwicklungsstufen hat sich auf zwei Jahre verkürzt“, berichtet Dr. Greschner über den aktuellen Entwicklungsdruck. Das nächste Etappenziel ist der 32-Nanometer-Chip. Derzeit wird die 45-Nanometer-Technik eingeführt. Bei der Gründung von Team Nanotec vor zehn Jahren war die riesige Dimension von 250 Nanometern das Nonplusultra in der Silizium-Bearbeitung

Den anhaltenden Erfolg führt das Unternehmen auch auf die guten Standortbedingungen in Villingen-Schwenningen zurück. Am HSG-IMIT steht ein 600 Quadrat¬meter großes Reinraumlabor zur Verfügung. „Der große Vorteil ist, dass wir alles unmittelbar beieinander haben: Büros, Labor und Messgeräte für unsere eigene Qualitätskontrolle“, sagt Dr. Greschner.

Die Nähe zu Instituten und Hochschulen in Baden-Württemberg sowie der intensive Austausch mit der Chipindustrie in Dresden, Grenoble, in den USA, Japan, Taiwan und Singapur befruchtet auch die Arbeit bei Team Nanotec. Die Entwicklung der Rasterkraft-Mikroskope und damit der Nanospitzen basiert auf Arbeiten der Zürcher IBM-Forscher Dr. Gerd Binnig und Dr. Heinrich Rohrer, die 1986 für die Erfindung des Rastertunnel-Mikroskops den Physik-Nobelpreis erhalten hatten. Heute ist Team Nanotec unter anderem in die Entwicklung der tomographischen Atomsonde eingebunden, die von einem jungen US-Unternehmen zur Marktreife gebracht wird. Dabei handelt es sich um eine Weiterentwicklung des Feld-Ionen-Mikroskops, das vor längerer Zeit in Deutschland erfunden wurde. Man kann damit Werkstoffe auf atomarer Basis dreidimensional analysieren.

Aber auch vor Ort entwickelt sich inzwischen ein Absatzmarkt: Team Nanotec führt derzeit Gespräche mit dem in Villingen-Schwenningen beheimateten Entwicklungslabor eines internationalen Elektronikkonzerns über die Lieferung von Nanotechnologie.